最近整理文献感觉非常有用的东西,尽管目前已经不怎么翻了,当年刚读研时就是以这个入门的。
EUV Litho, Inc的Vivek Bakshi的Euv Lithography第二版,关于极紫外光刻的非常推荐的一本书,有关于当前的卡脖子的EUV光刻机的原理与结构的一本书,属于EUV光刻机的入门进阶的书。
也希望对从事极紫外光源方向研究的人或单纯对极紫外光刻机有兴趣的诸位有所帮助。
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